Im unteren Teil des Bildes sehen Sie die Piezos als Rechtecke dargestellt. Darauf liegt die Probe, welche von den Piezos bewegt wird. Die Spitze ist an einem Träger (Cantilever) befestigt, welcher den Laserstrahl (grün) zum Sensor reflektiert. Die Aufzeichnungen werden an die Kontrolleinheit (Rechner) weitergeleitet.

Im nebenstehenden Bild wird der Aufbau eines AFM schematisch dargestellt. Das zu untersuchende Material, die Probe, ist in der Mitte zu sehen. Darunter befinden sich die Piezo-Kristalle. Mittels dieser Kristalle kann die Probe sowohl in x- (Breite), in y- (Tiefe), als auch in z- (Höhe) Richtung bewegt werden. Gleich über der Probe ist die Spitze, welche auf der Oberfläche liegt. Diese Spitze wiederum ist an einem Träger (Cantilever) befestigt, welcher auf seiner Oberseite einen Spiegel trägt. Darüber befindet sich der Ablenkungssensor, welcher die Bewegung des Trägers mittels eines Lichtstrahls aufzeichnet. Der Sensor gibt die Daten an die Kontrolleinheit weiter.